EAP自动化系统也就是设备自动化编程（Equipment Automation Programming），它是一种用于控制半导体制造设备进行自动化生产的系统。EAP系统与MES系统整合，校验产品信息，自动做账，同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据，帮助提高半导体工厂的生产效率，避免人工操作失误，提高产品良率。可把 EAP 看作是 MES 和 机台设备之间的中间层，一个机台只能在服务器上开一个EAP，实现信息传递、数据收集、流程控制的功能。
EAP自动化系统对于MES的作用
一、从MES获取材料信息以及需要采集的参数。
二、自动化地向MES添加入站和出站信息。
三、检查作业前Lot中的wafer数量是否与MES记录一致。
四、检查MES工艺配方Recipe是否在机台中存在。
五、获取机台中Recipe参数。
六、把材料信息下给机台，控制机台作业
七、获取机台生产状态，采集机台生产或量测数据。
八、上传生产或量测数据给MES或APC。
九、上传机台报警数据。
十、异常时暂停、取消作业。
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