Language

实时新闻

EAP自动化系统对于MES的作用
鼎华智能

EAP自动化系统也就是设备自动化编程(Equipment Automation Programming),它是一种用于控制半导体制造设备进行自动化生产的系统。EAP系统与MES系统整合,校验产品信息,自动做账,同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据,帮助提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提高产品良率。可把 EAP 看作是 MES 和 机台设备之间的中间层,一个机台只能在服务器上开一个EAP,实现信息传递、数据收集、流程控制的功能。

EAP自动化系统对于MES的作用
一、从MES获取材料信息以及需要采集的参数。
二、自动化地向MES添加入站和出站信息。
三、检查作业前Lot中的wafer数量是否与MES记录一致。
四、检查MES工艺配方Recipe是否在机台中存在。
五、获取机台中Recipe参数。
六、把材料信息下给机台,控制机台作业
七、获取机台生产状态,采集机台生产或量测数据。
八、上传生产或量测数据给MES或APC。
九、上传机台报警数据。
十、异常时暂停、取消作业。

文章来源于网络,如有侵权,请联系删除。

相关资讯

Scroll to Top